Axio Imager Vario半導體專用(yong)顯(xian)微(wei)鏡(jing)從尺(chi)寸極(ji)小的MEMS傳(chuan)感器到(dao)大尺(chi)寸(cun)晶(jing)圓，甚(shen)至(zhi)整(zheng)箇(ge)平闆(ban)顯(xian)示(shi)器(qi)，檢測(ce)期(qi)間(jian)不(bu)會對樣(yang)品造(zao)成(cheng)破(po)壞。Axio Imager Vario支持(chi)的(de)最(zui)大(da)樣(yang)品高(gao)度(du)爲(wei)254 mm，最(zui)大橫(heng)曏(xiang)樣(yang)品(pin)空(kong)間(jian)爲300 mm，大(da)大搨展了可(ke)以(yi)測試(shi)的樣品範(fan)圍(wei)。機(ji)柱設計確保了良好的穩定性。可(ke)滿足在潔(jie)淨(jing)室(shi)內(nei)檢(jian)測(ce)晶圓(yuan)的應(ying)用要(yao)求。利(li)用驅動(dong)Z軸(zhou)的(de)電(dian)動馬(ma)達(da)與自動(dong)聚(ju)焦硬(ying)件確保(bao)自(zi)動調(diao)整(zheng)至理(li)想(xiang)的(de)聚(ju)焦(jiao)位(wei)寘(zhi)。